High Purity Gas Pressure Regulator
Hauv cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, kev tswj xyuas siab ncaj qha cuam tshuam rau kev ua haujlwm hauv qab dej, txheej txheem kev ruaj ntseg thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv. Qhov tsim nyog siab purity gas siab regulator yuav tsum ua ntau tshaj li txo qhov siab. Nws yuav tsum ua kom haum rau cov roj hluav taws xob, tswj cov khoom siv hluav taws xob uas yuav tsum tau ua, txo qis qhov txaus ntshai thiab ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua kom huv si ntawm kev teeb tsa.Peb muab cov khoom siv roj hluav taws xob sib txuas rau cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, roj faib vaj huam sib luag thiab lwm yam siab tshaj - purity gas daim ntawv thov, pab kev yuav khoom thiab engineering pab pawg ua kom zoo dua cov khoom xaiv, kev xav tau, kev sib txuas ua ntej thiab kev soj ntsuam.
Khoom Taw qhia
SEMICONDUCTOR GAS DELIVERY COMPONENTS
High Purity Gas Pressure Regulator rau Semiconductor Daim Ntawv Thov
Precision txo qhov siab, tswj cov ntaub ntawv ntub dej thiab txhim khu kev qha tawm -kev ua haujlwm pov thawj rau siab - purity gas xa tshuab.
Hauv cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, kev tswj xyuas siab ncaj qha cuam tshuam rau kev ua haujlwm hauv qab dej, txheej txheem kev ruaj ntseg thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv. Qhov tsim nyog siab purity gas siab regulator yuav tsum ua ntau tshaj li txo qhov siab. Nws yuav tsum phim cov roj chemistry, tswj cov khoom siv hluav taws xob uas yuav tsum tau ua, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev xau thiab ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua kom huv huv ntawm lub installation.
Peb muab cov khoom siv hluav taws xob tsim hluav taws xob rau cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, cov hluav taws xob faib hluav taws xob thiab lwm yam khoom siv siab tshaj - cov ntawv siv roj purity, pab pawg neeg muag khoom thiab engineering pab pawg xaiv cov khoom siv, kev xav tau siab, kev sib txuas sib txuas thiab cov txheej txheem tshuaj xyuas ua ntej xaj.
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Siab -Purity Gas Pressure Control rau cov ntawv thov tseem ceeb
Lub siab purity gas siab regulator txo cov dej ntws ntws mus rau ib qho kev ua haujlwm qis qis. Nws qhov kev ua tau zoo yog nyob ntawm tus qauv tsim, lub siab nkag, qhov hluav taws xob qhov hluav taws xob xav tau, cov roj ntws, cov qauv sib khi thiab kev sib raug zoo ntawm tag nrho cov roj- cov ntaub ntawv sib cuag.
Rau cov ntawv thov semiconductor, xaiv lub regulator tsuas yog nyob ntawm nws lub cev stainless hlau lossis nominal qhov hluav taws xob siab tuaj yeem tso cov kev xav tau tseem ceeb tsis tau daws. Lub diaphragm, koob valve, lub rooj zaum thiab cov ntsaws ruaj ruaj yuav tsum raug ntsuas raws li qhov tseeb ntawm cov roj thiab kev ua haujlwm.
- Diaphragm- hom kev tswj xyuas siab rau cov kev cai xa tawm roj.
- 316L thiab VIM + VAR 316L stainless hlau lub cev xaiv, nyob ntawm kev teeb tsa.
- Xaiv cov khoom siv sab hauv thiab cov khoom sib khi xaiv rau cov kev pabcuam sib txawv.
- Ntau qhov ntsuas siab thiab kev sib txuas teeb tsa los txhawb kev sib koom ua ke.
Hais txog Cov Kev Sib Tw Tseem Ceeb hauv Semiconductor Gas Systems
Qhov hluav taws xob siab ruaj khov
Cov kev hloov pauv hauv qhov nkag siab thiab cov kev xav tau ntws tuaj yeem cuam tshuam rau cov dej hauv qab. Txheeb xyuas qhov kev khiav hauj lwm siab ntau, qhov xav tau ntws thiab cov yam ntxwv siab ua ke txhawm rau txheeb xyuas qhov tsim nyog regulator.
Kev Tiv Thaiv Kev Tiv Thaiv
Sab nrauv to thiab sab hauv lub rooj tog yog qhov kev txhawj xeeb ntawm kev ua haujlwm sib txawv. Txheeb xyuas cov kev txwv tsis pub dhau thiab kev sim ua ntej pom zoo rau tus tswj hwm rau kev teeb tsa.
Kev Tiv Thaiv Kab Mob
Nto tiav, tu, sib dhos thiab ntim khoom cuam tshuam rau kev huv huv. Qhia meej txog qhov yuav tsum tau muaj nyob rau saum npoo thiab kev tswj kev huv rau cov khoom siv roj xa tawm.
Kev sib txuas Compatibility
Qhov chaw nres nkoj tsis raug lossis hom kev sib txuas tuaj yeem ncua kev teeb tsa. Paub meej tias qhov inlet thiab qhov hluav taws xob interfaces, ntsuas qhov xav tau thiab muaj qhov chaw teeb tsa ua ntej tso qhov kev txiav txim.
Semiconductor-Qib Siab-Purity Pressure Reducers
Semiconductor-qib siab- purity siab reducers raug xaiv raws li qhov xav tau ntawm kev xa cov roj ua tiav. Cov khoom sib xws, sealing kev ua tau zoo, sab hauv nto tiav thiab kev khiav hauj lwm siab yuav tsum tau soj ntsuam ua ke es tsis yog kho raws li tus kheej specifications.
Muaj U thiab X series configurations txhawb txhais siab -purity gas applications. Nyob ntawm cov qauv xaiv, cov kev xaiv muaj xws li 316L lossis VIM + VAR 316L stainless hlau lub cev, cov ntaub ntawv diaphragm thiab valve koob, thiab cov qauv sib txawv.
Rau cov ntawv thov uas xav tau cov ntaub ntawv tshwj xeeb sab hauv, xaiv kev teeb tsa muaj UNS N06022 lossis UNS N10276 xaiv. PCTFE thiab PI sealing cov ntaub ntawv kuj muaj nyob rau ntawm cov qauv siv. Kev xaiv cov khoom siv zaum kawg yuav tsum yog raws li qhov tseeb ntawm cov roj, qhov kub thiab txias, siab thiab kev ua haujlwm.
Daim ntawv xaiv:Tsis muaj ib qho khoom sib xyaw ua ke tsim nyog rau txhua qhov tshwj xeeb roj. Paub meej tias qhov kev sib raug zoo ntawm tag nrho cov wetted Cheebtsam ua ntej qhia txog kev tswj hwm rau corrosive, lom, flammable lossis oxidizing kev pabcuam.
Cov yam ntxwv tseem ceeb ntawm Peb Lub Siab Purity Gas Regulators
Siab -Purity Material Options
Cov khoom siv lub cev muaj xws li 316L thiab VIM + VAR 316L stainless hlau. Cov kev teeb tsa uas tau xaiv muaj kev xaiv cov khoom siv sab hauv ntxiv los daws cov kev xav tau ntawm cov roj sib xws.
Tswj Surface Finish
Cov qauv siv tau muab qhov roughness sab hauv ntawm Ra Tsawg dua lossis sib npaug li 0.13 μm, txhawb siab - cov ntawv siv roj purity uas yuav tsum tau tswj xyuas qhov chaw sab hauv.
Leak{0}}Test Verification
Cov qauv siv tau qhia txog tus nqi helium sab nraud tsawg dua lossis sib npaug li 1 × 10⁻¹¹ Pa·m³/s. Cov qauv kev xeem uas xav tau thiab cov qauv lees paub yuav tsum tau lees paub rau qhov kev xaiv xaiv.
Saj zawg zog Configuration
Qhov sib txawv qhov hluav taws xob siab teeb tsa, ntsuas qhov sib txawv, qhov chaw nres nkoj teeb tsa thiab kev xaiv kev sib txuas pab daws qhov cuam tshuam thiab kev ua haujlwm ntawm tus kheej lub tshuab roj.
Precision processing thiab kev tswj kom zoo
High -cov khoom siv roj purity xav tau ntau tshaj qhov raug. Kev xaiv cov khoom siv, kev kho qhov chaw sab hauv, kev tu kom huv si, tswj kev sib dhos thiab cov khoom pov thawj tag nrho ua rau kev tswj xyuas kev ua haujlwm thiab kev huv. Peb cov txheej txheem tsim khoom yog tsim los txhawb cov kev cai no rau cov khoom siv tau tsim.
01. Kev tswj cov khoom thiab kev kho deg
316L thiab VIM + VAR 316L stainless hlau xaiv txhawb kev sib txawv siab -purity yuav tsum. Electropolishing pab txhim kho sab hauv nto smoothness, thaum passivation pab tshem tawm cov hlau tsis huv thiab txhim kho corrosion kuj thaum siv kom zoo.
02. Precision ntxuav thiab sib dhos
Kev tu cov txheej txheem tshwj xeeb thiab tswj cov chav huv huv los ua ke pab txo cov kev pheej hmoo kis kab mob thaum tsim khoom. Kev tuav huv huv thiab kev tiv thaiv ntim pab khaws cov khoom kom huv si ua ntej kev teeb tsa.
03. Kev Ntsuas thiab Kev Ntsuas Tus Kheej
Cov neeg tswj kev siv tau raug kuaj xyuas tus kheej, kev sim ua haujlwm, helium huab hwm coj -spectrometer leak testing thiab particle inspection. Cov kev kuaj xyuas no pab txheeb xyuas kev ua haujlwm ntawm kev ua haujlwm thiab txheeb xyuas cov teeb meem muaj peev xwm ua ntej xa khoom xa tuaj.
Ua kom pom tseeb zoo rau Pab Pawg Muag Khoom
Kev soj ntsuam yuav tsum tau ua raws li cov qauv xaiv thiab kev yuav khoom specification. Cov neeg siv khoom tuaj yeem txheeb xyuas cov txheej txheem xau yuav tsum tau, kev cia siab kom huv, cov ntaub ntawv xeem thiab cov kev xav tau traceability ua ntej kev txiav txim pom zoo.
Kev siv hauv Semiconductor Gas Delivery Systems
High purity gas siab regulators yog siv nyob rau hauv cov khoom siv roj thiab cov khoom xa tawm uas tswj kev siab, roj sib xws thiab kev huv yog qhov tseem ceeb rau kev ua haujlwm.
- Semiconductor Gas txee:Kev txo qis rau cov khoom siv sib xws -gas applications.
- Valve manifold thawv (VMB):Kev sib xyaw ua ke rau hauv cov khoom siv roj sib txuas nrog lub siab thiab cov kev sib txuas tshwj xeeb.
- Valve manifold panels (VMP):Cov kev cai siab nyob rau hauv configured gas mov layouts.
- Bulk specialty gas systems (BSGS):Xaiv cov kev teeb tsa rau cov kev xav tau ntawm kev faib khoom siv roj.
- High -cov txheej txheem purity roj kab:Regulator xaiv raws li cov roj, kev khiav hauj lwm siab, txaus xav tau thiab kev huv huv.
Qhov kawg tsim nyog nyob ntawm qhov tseeb roj muaj pes tsawg leeg, kev khiav hauj lwm tej yam kev mob, tsim system thiab paub tseeb qauv compatibility.
Technical Specifications
Cov txiaj ntsig hauv qab no sawv cev rau cov kev qhia tshwj xeeb rau cov kev xaiv xaiv. Cov kev txwv kev ua haujlwm tiag tiag, cov khoom sib xyaw ua ke thiab cov txiaj ntsig kev ua tau zoo sib txawv raws li cov qauv thiab cov qauv. Paub meej qhov kawg configuration ua ntej xaj.
| Parameter | Muaj Specification | Kev xaiv xaiv |
|---|---|---|
| Regulator hom | Diaphragm- hom roj siab regulator | Xaiv cov koob raws li daim ntawv thov thiab qhov xav tau siab ntau yam. |
| Khoom siv lub cev | 316L / 316L (VIM + VAR), nyob ntawm tus qauv | Txheeb xyuas cov ntaub ntawv qib thiab cov ntaub ntawv xav tau. |
| Cov khoom siv sab hauv | Xaiv 316L, VIM + VAR 316L, UNS N06022 lossis UNS N10276 xaiv | Muaj nyob ntawm cov qauv xaiv thiab cov khoom siv. |
| Cov ntaub ntawv sealing | PCTFE / PI ntawm kev teeb tsa | Tshawb xyuas cov pa sib xws thiab kev pabcuam kub. |
| Maximum inlet siab | Txog li 3,500 psig ntawm qee cov qauv | Tsis txhob siv qhov txwv no rau txhua tus qauv. |
| Qhov hluav taws xob siab teeb tsa | 30, 60, 100 thiab 150 psig ntawm qee qhov kev teeb tsa | Paub meej tias qhov yuav tsum tau muaj qhov hluav taws xob teeb tsa thiab kev hloov kho ntau yam. |
| Internal nto roughness | Ra Tsawg dua lossis sib npaug li 0.13 μm ntawm cov qauv siv tau | Paub meej tias qhov chaw siv tau - ua tiav cov lus qhia. |
| Sab nraud helium leak rate | Tsawg dua lossis sib npaug li 1 × 10⁻¹ Pa·m³/s ntawm cov qauv siv tau | Paub meej txog cov txheej txheem kev xeem thiab kev lees paub. |
| Ua haujlwm kub | Qauv-nyob; Piv txwv li -40 txog 60℃thiab -40 txog 70 degree | Paub meej tias qhov kev txwv tsis pub ua haujlwm ntawm tus qauv xaiv. |
| Kev xaiv kev sib txuas | Xaiv UCR thiab raj -stub configurations | Qhia meej hom kev sib txuas, qhov loj me thiab qhov xav tau interface. |
| Kev tshuaj xyuas | Siab, muaj nuj nqi, helium leak thiab particle test ntawm cov qauv siv | Txhais cov ntaub ntawv tshuaj xyuas yuav tsum tau ua ua ntej xaj. |
Configuration thiab Customization Support
Xaiv qhov raug siab purity gas regulator yuav tsum tau muab cov khoom sib piv rau cov kev ua haujlwm thiab cov roj uas twb muaj lawm. Muab cov lus qhia ua tiav ntawm theem hais lus yuav pab txo tus qauv - kev xaiv yuam kev thiab kev teeb tsa qeeb.
Kev xav tau siab
Qhia meej qhov siab tshaj plaws thiab ib txwm nkag siab, lub hom phiaj lub qhov hluav taws xob siab, kev hloov kho ntau yam thiab xav tau kev ua haujlwm hloov pauv.
Gas Compatibility
Txheeb xyuas cov roj av lossis cov roj sib xyaw thiab cov kev txwv ntawm lub cev, diaphragm, koob valve, lub rooj zaum thiab cov ntaub ntawv foob.
Flow thiab Interfaces
Muab kev xav tau txaus, qhov chaw nres nkoj loj, hom kev sib txuas, ntsuas qhov ntau thiab muaj qhov chaw nruab.
Kev Xav Tau Zoo
Txhais cov kev txwv tsis pub dhau, kev cia siab ntawm kev huv, cov ntaub ntawv xeem, cov khoom yuav tsum tau ntim thiab cov kev xav tau traceability.
Yuav Ua Li Cas Xaiv Txoj Cai Semiconductor Gas Regulator
- Txheeb xyuas cov txheej txheem roj.Paub meej tias nws muaj pes tsawg leeg, tshuaj muaj pes tsawg leeg thiab txhua yam tshwj xeeb tuav yuav tsum.
- Txhais cov inlet thiab qhov hluav taws xob pressures.Muab cov khoom siv siab tshaj plaws, lub zog ua haujlwm ib txwm muaj thiab xav tau downstream setpoint.
- Paub meej tias yuav tsum tau ntws.Qhia tawm qhov kev cia siab ntau thiab kev ua haujlwm rau kev ntsuas kev muaj peev xwm.
- Xyuas tag nrho cov ntaub ntawv ntub dej.Ntsuas lub cev, diaphragm, koob valve, lub rooj zaum thiab cov khoom sib khi ua ke.
- Sib piv cov kev sib txuas interfaces.Paub meej qhov ntau thiab tsawg ntawm qhov chaw nres nkoj, qhov kawg kev sib txuas, ntsuas qhov xav tau thiab kev txwv kev teeb tsa.
- Qhia txog kev xeem thiab cov ntaub ntawv.Pom zoo rau kev sim siab, kev txheeb xyuas kev ua haujlwm, xau- cov qauv ntsuas, kev tshuaj xyuas particle thiab cov ntaub ntawv xav tau.
Cov lus nug nquag
Lub siab purity gas siab regulator yog dab tsi?
Lub siab purity gas siab regulator txo cov khoom siab mus rau ib qho kev ua haujlwm qis qis thaum hais txog cov pa sib xws, kev sib khi ua haujlwm thiab kev ua kom huv. Daim ntawv thov semiconductor yuav xav tau kev tswj qhov chaw tiav, tu, sib dhos thiab kuaj cov khoom.
Kuv yuav tsum xyuas dab tsi thaum xaiv semiconductor -qib siab -purity siab reducers?
Tshawb xyuas cov txheej txheem roj, qhov siab tshaj plaws inlet siab, xav tau qhov hluav taws xob siab, kev xav tau txaus, cov ntaub ntawv ntub dej, kev sib txuas sib txuas, cov txheej txheem kev lees paub thiab kev huv. Qhov kawg configuration yuav tsum tau sib xws nrog cov kev pab cuam npaj.
Vim li cas thiaj xaiv VIM + VAR 316L stainless hlau?
Kev ua VIM+VAR muab cov khoom siv ntxiv- kho kom zoo dua txoj kev npaj los txhim kho cov khoom huv si thiab tswj kev suav nrog. Nws yuav raug txiav txim siab thaum daim ntawv thov yuav tsum tau txhim kho cov khoom zoo. Qib tsim nyog yuav tsum tau txiav txim siab los ntawm qhov system specification thiab kev yuav khoom.
Dab tsi yog qhov txawv ntawm sab nraud thiab sab hauv to?
External leakage yog hais txog cov pa tawm ntawm lub regulator mus rau ib puag ncig ib puag ncig. Internal seat to leakage yog hais txog cov roj dhau los ntawm lub rooj zaum kaw. Cov no yog cov yam ntxwv ntawm kev ua tau zoo thiab tej zaum yuav xav tau cov qauv xeem sib cais.
Kuv puas tuaj yeem qhia cov ntsuas ntsuas sib txawv thiab kev sib txuas?
Cov kev teeb tsa uas siv tau muab cov ntsuas ntsuas sib txawv thiab cov kev xaiv sib txuas. Muaj nyob ntawm qhov xaiv series thiab qauv. Muab qhov ntsuas qhov xav tau, qhov chaw nres nkoj loj thiab kev sib txuas interface rau kev pom zoo.
Cov ntaub ntawv dab tsi xav tau los thov kev hais lus?
Muab cov roj hom, qhov nkag thiab qhov hluav taws xob siab, qhov yuav tsum tau khiav, wetted-cov ntaub ntawv xav tau, cov ntsiab lus sib txuas, kev khiav hauj lwm kub, xau{1}} cov qauv ntsuas, kev huv huv thiab kwv yees kom muaj nuj nqis. Ib daim ntawv qhia kev siv tshuab lossis kev kos duab tuaj yeem pab qhia meej txog qhov yuav tsum tau ua.
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